超精密飞切加工技术是一种极具发展潜力的超精密切削加工技术，具有加工过程易于控制、加工效率高等优点，其加工后的表面即为最终的工件表面。近年来随着机床加工精度的逐步提高，飞切加工已经能够实现纳米级精度，直接切削获得表面粗糙度几纳米、面形精度几百纳米的各种平面光学元件。但是飞切运动形式容易在加工工件表面产生波纹度误差，从而严重影响到光学系统的使用性能。为此，以飞切加工质量控制为目标，本文着重研究了飞切机床主轴回转精度及其对刀尖轨迹的影响，揭示了基于加工过程的加工工件表面粗糙度成形机理，分析了表面微波纹的成因，并基于支持向量机实现了加工表面粗糙度的预测。研究的主要工作包括以下几个部分： 1、研究了主...As a kind of ultra-precision machining technology with great potential, fly-cutting is always used in the final processing of optical surface especially for some kind of easy deliquescence crystal optical materials for the benefit of easy to control and high efficiency. With the improvement of the machining accuracy in recent years, fly-cutting entered the field of nanoscale machining which can di...学位：工学硕士院系专业：航空航天学院_工程硕士(仪器仪表工程)学号：1992013115294
