随着电子信息技术的飞速发展，多种现代化电子元器件逐渐向集成化、高频化和微型化方向发展。然而，在磁性电子元器件向集成化和高频化发展的过程中还面临着一大困境——缺乏具有优异高频性能（包括低矫顽力、高磁导率、高铁磁共振频率和高电阻率）的软磁薄膜材料。电感器作为一种重要的无源磁性元器件，其性能与体积/面积密切相关。当缩小尺寸（微型化）后势必会导致其性能变差，无法满足器件的使用要求。要突破这一困境，就必须寻找在高频（包括GHz频段）下稳定工作且具有较高磁导率的薄膜材料，并将这种材料作为磁芯集成到微型电感中，进而提升微型化电感的性能。然而，传统磁性材料无法同时实现高电阻率、高磁导率及高铁磁共振频率，因而无...With the rapid development of electronic information technology, a variety of modern electronic components with integration, high frequency and miniaturization have gradually become a trend of the development direction. However, developments of the integration and high frequency magnetic electronic components indeed faced with a dilemma: lacking of soft magnetic thin film materials with excellent ...学位：工学博士院系专业：材料学院_材料物理与化学学号：2072013015363
