Цель монографии – введение читателей в проблематику и анализ современного состояния наноэлектроники, в виде сравнительно краткого предварительного анализа способов получения и исследования современных и перспективных наноматериалов и технологии получения на их основе электронных наноэлементов; общих принципов и свойств современной наноэлектроники. Монография состоит из двух книг. Первая книга посвящена введению в наноэлектронные технологии. Рассмотрены свойства и методы анализа поверхностей и наноструктур, технологические методы получения тонких пленок методами ионной имплантации, ионного травления, ионной литографии; технологии получения материалов для наноэлектроники на основе пористого кремния, углеродных наноструктурных материалов. Во второй книге рассматриваются результаты некоторых исследований наноструктурных материалов и функциональных наноэлектронных устройств. Монография предназначена для широкого круга читателей – от специалистов до студентов вузов электронных направлений обучения
