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Highresolution 2d imagesmicromachined with nanosecond laser

Abstract

A fin de posibilitar el micromaquinado láser de distintas imágenes 2D sobre sustratos de silicio, se diseñó un Sistema Automático por Software que permite en líneas generales: analizar y procesar digitalmente en tiempo real cualquier imagen salvaguardada en formato de mapa de bits monocromático, que posteriormente será micromaquinada; controlar mediante comunicación serial una plataforma x-y motorizada que mediante el desplazamiento micrométrico de la posición del punto de enfoque sobre la muestra posibilita el micromaquinado láser de la imagen; modificar la frecuencia de repetición como así también la manipulación de la cavidad láser.In order to enable the laser micromachining of different 2D images on silicon substrates, it was designed an Automatic System which allows, broadly speaking: to analyze and digitally process in real time any image safeguarded in monochromatic bitmap format that subsequently will be micromachined; to control, through serial communication, the motorized x-y platform which by micrometrically moving the position of the focus point over the sample will make possible the laser micromachining; to modify the repetition frequency as well as the manipulation of the laser cavity.Fil: Myriam Nonaka. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; ArgentinaFil: Agüero, Mónica Beatriz. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; ArgentinaFil: Krygier, David. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; ArgentinaFil: Hnilo, Alejandro Andrés. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; ArgentinaFil: Kovalsky, Marcelo Gregorio. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; ArgentinaFil: Touron, Hector Alejandro. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; ArgentinaFil: Fidalgo, Luis Enrique. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; ArgentinaFil: Diodati, Francisco Piero. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; ArgentinaFil: Radulovich, Oscar Luis. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Ministerio de Defensa. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa; Argentina. Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas para la Defensa. Centro de Investigación en Láseres y Aplicaciones; Argentina. Instituto de Investigaciones Científicas y Técnicas de las Fuerzas Armadas; Argentin

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