2003-2004 > Academic research: refereed > Publication in refereed journalVersion of RecordPublishe

Cheung, CF

Chiu, WM

Gao, D

Lee, WB

To, S

PolyU Institutional Repository

?l ? ?1 ?2 3 0 0?2 1 ?? ? ? ? ? ? ? ? ?N a note e h nol o g ya nP de e r i sio nE ni g ne e r i ngV ol.lDe e.N o.l2 3 0 0???????????????? , ? ? , ??? , ? ? , ???(??????????????????????? )? ? : ?????????????????????? ???? . ?? ?????????????? , ?????????????????????????? . ???? ??? ?????????? ???????? ,????????????????????? ??? ?????? .??? : ????? ; ??????? ; ???????????? : TH 74 ????? : A ???? : 16 7 2 ? 603 0 (2 0 3 )O? 0 5 7 ? 05U l t r a?P r e e i s i o n Ma c h i in n g o f O P it c a l M ic r o s t r u e t u r e ,;L e e W B,T o S,C h e u n g C F,G a o D,C hi u W MAd v ane ed O p t ie sMa n uafe t u r in g Ce n ter,D e p a rt m e n r o f I n du s t ir ? a n d S y s t e m sE n g in e e r in g,H o n g K o n g p o l y te ehn ie U n iv e r s i ty,H o n g K o n g,C h in a)A b s t r a c t : O p t ie al m i e or s t ur e t u er s ar eeure i a l t o th e de v e l o p m e n t o f e o m p l e x a n d m i e or?o p t i e a l?。, l e e t r o ? m e e h a n i -e a l d e v i e e s u s e d i n m a n y p h o t o n i es P or du e t s.T h e fa b ir e at io n o f h ig h q u al i ytop t i e a l m i e r o s t ur e tu r e s 15 b a s e (1 o nu l tar?Pere i s i o n fere fo r? 1 m a e h i n i n g t e e h n o l o gy w h i e ha ll? 5 di r e e t m a e hi n i n g of fr e?mr s u far e e s w i th s u b? m i e or -m e t r i e fo mra e C u ar e ya n d n a n o m e t r i e s u fare e if n i s h·T h e a p p li e at i o n o f u l t r a?p? e i s i o n fer efo r m : n a e h i n in g to th efab ire a t i o n o f o p ti e a l m i e r o s t ur e t ur e s 15 a d d? s s e d , a n d t h e m e th o d o l o gi e s fo r t h e d e v e l o p m e n t o f t h e t o o l p a thgen e ar t or fo r t w o o P t i e a l P r o du e t s are d i s e u s s e d.K e y w o r d s: u lt r a?P er e i s i o n m a e h i n i n g ; o p t i e a l m i e or s t ur e tur e ; t o o l p at h g e n e r a t o r??????????? . ??? 、 ??? 、????? 、????? 、??????????????????????? . ?????????? ( PI D A )??? , 2 0 0 1 ????????? 15 9 7 6 8 ??? ,2 0 0 2 ????????? 17 4 2 8 9 ??? ,?? 2 0 0 3?? 2 004 ????????????? 20 009 ???? 2 2 4 950 ??? , ?? 2 0 01 ? , ?????25.2?? 4 0 . 8? . ?? , ????????????? ,?????????????? , ????????? , ???????????? ?????????????????????????? , ????????????????????????????? ,??????????????????????? . ??? ?? ?????? , ???????????????? , ?????????????????? .?????????????????? , ?????? (?????????.?? ) 、????? 、??? 、 ????? 、 ????? 、??? 、??? 、 ???????????? ??????? . ?? , ?????????????????????????????? . ????????????????? :V ????? ( V ? g or o v e a r a y ,? ? 1 ) , ??? ?????????? ;???? ( m i e r o l e n s a r a y , ??2 ),??????? ???? : {F? t h e ta ? ( f ? t} l e t a le n sn l o u l d i n s e rt,?? 3 ) , ?????????????? ;?????????????? (??????? ) . ????????????? , ????????? ?? : 2 0 0 3? 0 5? 3 1 .???? : ???????????????????????? ? ( IsT / 2 0 1/ 0 1) .???? :??? ( 19 52 ? ) , ? ,????????????????? , ???? 。 ??????????? 、????????????? .DOI : 10. 13494 /j . npe . 2003. 011.58’ .? ? ? ? ? ? ? ? ? ? l? ? 1 ?—??????????????? .???? 、? 、???????? ??????? ,??????????? ·??????? ,??? ????????????? 1 ???????? ? 2 ???? ? 3 F · ht aet ?????? ,?????????????????????????? . ?????? ??? ?????????????????????? ,?????????????????? ?????? ,??????????????????????????????(??????????? ) ?????? . ??????????????????? ,???? 2 ???????? ??? . ?? ?????????????? : ???????? , ????? , ????(? -ft he at ?? ) ;???????? , ?????????? 、?????????? . ???????????????????????????????????? . ?? P er ict ec h ?????????? ????????????????????????????????? ,???????????? ??????????????????????????? . ? 4 ??? “ ?? ” ?????? ???? ,? 5 ??? “ ?? ” ?????? , ? 6 ??????? .? 4 “ ?? ” ?? ? 5 “ ?? ” ????? ? 6 ?????? ,????????????????? ??? . ???????????????????????????????? , ????????????????????????? 〔’ 】, ????????? [4 , , 〕??? . sT en g ? su e [` 〕???????????????? 4 ????? : ????’ ? ’ 〕 ,?????’ ” J ,????? [” , ` , ? , ????? [6 , ” , ` 4 〕 . ?? ??????????????????????】??16 j . ????????????????????????????????? , ????????????????????? F ?ht et a 、????????????????????????? .???????????????????????? 5 ? ???????? ( rF e fo mr 70 5 G , ??7 ),????????? ?????????? . ?????????????? , ????????? .???????????? 、??????? ,?????????????? . ???????? 3 ??20 0 3 ? 12 ? ???? :?????????????????( X 、 Y、Z) ? , ???????? B ?? C? . ??????????????????? , ??????????????? 、 ??? 、 ?????? . ??????????? 8 . 6 n m . ?????????? Per ict ec h ??? ul t ar aP th T “ ?????????? . ??????? , ?????? 10 0 0 0 r/m in. ?????????? 7 0 m m . 3 ??????????? 3 5 0 m m ( X ) x ?5 0 m m ( Y ) x 2 5 0 m m ( z ) .?? 7 ????? 5 ?????????2 ????????????????????????????????? ,???????? . ???? “ ?? ” ??????????? ,?????????????? , ?????????? . ????? ?????????“ ??” ????????????? ,? T ay lo r H ob -so n nP eu m。 ???????????????????????????????? ( T PG ) , iD fs ys ?????? “ ?? ” ?????? . ?? ??????????????????????? , ????????????????????????????? ,???????? . ?????????? (?oFe u s S o fwt are ??? Z EM AX ?? O p t i e a l R e s e a r e hA s oc i at e ??? C od e v )?????????????? ,????????????? . ???? CA D /CA M ?? (? M a s t e r CA M ? u n i?p h i e s ? )??????????????? ,??????????????????? . ????????? “ ?? ” ?????????????? ,??????? CA M ?????????? . ????????????????????????????????????????? . ????????????????????????? ??????? : ???????? ,??????????????????????????????????? . ?????????????????????????? .? 8 ??????????????????????? . ? 9 ? ? 10 ?????????? V -G or vo e ? ???????????????????? .?? 8 ?? , ???????????????7 ????? . ????????????????? 、???? 、 ???? 、???? 、 ?????????????????????????????????? . ?????????????????????????????????? . ?????????????????????????????(? zI G ? zI G ? z A G ?? ) , ???? 、?? 、 ???? 、???? 、?????????????????? . ?????????????????????????? ???????????????? . ???????????????????? 、???????? ,??????? ???????????????? . ??????????????????????????? . ???????????????? 、?????????????????????????? .?????????????? ????????? ????????? ????????????????、???? (?)?) (??? 8 ???????????????????2 003 ? 12 ? ???? :????????????? ·6 1? 10 ??????????????? ??????3 ? ???????????????????????? ,???????????????????????? ,????????? 5 ???????????????????? .???? :「l 〕〔2〕?3 〕[4 ]?5 〕[ 6」〔7 〕??? . ?????????? . ?? , 2 002 , 97 : 1? 6 .uK sarn o J,S u z u k i H,K i mu ar F.Ge n e ar t i o n Of NC t o o l p at hfor s u bd iv is io n s u r fo c e [ A」 . ?r o e CA D??n ?h ie s ` 2 0 0 1 [ C 〕.uK nmin g,C h in a.2 00 1:676?8 2 .Dar g o m at z D,M a n n 5.Ae la s s iif e d b ib li o『a p h y o f Ii t e r at u r eo n N C m i lli n g p a th g e n e r at io n [ J〕 . oC?? ` e r ?Aid e d D e s? ,19 97,29 ( 3 ):239?4 7 .B al a s u b r am an ia m M,Ho S,Sar m a S, e t al.Ge n e r at i o n o fe o l li s io n?fere s?ax is ot o l phatu s i n g h a p t i e s u fare e[ J〕. OC m -P u t e r?Ai d e d D es ign ,20 02,34: 2 67 2 7 9.K im T J,SaxnTa 5.To olP at h ge n e ar t io n al o n g d ir e e t i o n s o fm ax imu m k in em at ie P e for mra n e e :A if r s t e ut a t r n a e h i n e? o P-t im? p a th s [ J 〕. OC? ut e r? i de d D es ig n , 2 00 2 , 34 : 4 53 -4 6 8.sTe n g Y J,Su e Y R.Ma eh iinn g o f fere ?fo mrs oli d s u s i n g a no e tere v olu m e d e e o , n l , o s i t io n a p p or a e ll ?J」. 2, :aentrt io ,` a lOJu nr a l of ?、 ?d??` io n ??s e a cr h , 19 99 , 37 ( l ) : 49?2.? n e y G C , o z s o y T M . M ac h in in g ? fr e e fo o s u far e e s 〔J joC? u et -rA ide ??? ,? , 198 7 , 19 ( 2 ) : 8 5?0 .?8 ] C h o i B K , Ju n C 5 . B al l ? e n d C u rt e r in t e fer r e n e e a v o i d a n e ein N c ma e h s n in g o f s e u lp t u r e d s u r fa e e s 〔J」. oC ? ut e r ?A ide dD e s? n , 19 89 , 2 1 ( 6 ) : 37 1 ?37 8.[ 9 〕 E lb e r G , C o h e n E . oT o l p a th ge n . oar r io n ? r fr e e fo mr s u far e em o d e ls ?J 」. oC? u et ?A i de d l??? , 1 994 , 2 6 ( 6 ) : 4 90 -4 9 6.?10」 H u a n g Y , O liv e r J H . N o n ? e o n s t a n t p a ar o e ,? N C t o o l pa htg e n e m , i o n o n s e u l p t u r e d s u afre e s?J j nI t e ran t i o n a l OJ u r n a lof A?* e d M o n auf e t u r i? eT e h ,。 lo g y , 19 94 , 9 : 2 8 1?2 9 0?1 1〕 K i m K I , K im K . A n e w m a e h in e s tar t e ? fo r s e u lp t u r e ds ufare e s u s in g o flse t s u fare e[ J 〕. nI `e n : a t io n a l oJ u r n a l ofpr o d u e t io n eRs e a cr h,1 99 5,33 (.6 ): ?683 ?1 697 .[ 12 〕 T a n g K , Ch e n g C C , D? a n Y . O fs e t t in g s u fr a c e b o u n d a -r ie s an d 3?ax is g o u?? fer e s u far e e m ac h in i n g 〔J ] . oC ? u t -。 r ?A ide d eDsign , 199 5,2 7 ( 1 2 ):9 15 ?2 6 ,?1 3 〕 L e e K , K i m T J , H o n g 5 E . G e o e r at i o n ? t o ol p a th w ith s e -le e t io n o f p or p e r t o o ls fo r or u {?h e u t t in g p or e e s s e s [ J 〕.Co? u et r ?A i de d D e s ig ,; , 19 9 4 , 26 ( 1 1 ) : 82 3 ?8 3 1 .?14 ] Y o u C F , C h u C H . A n a u t o m `?i e p at h g e n e r at i o n m e th o dof N C or u hge u t m a e h in in g for ms olid m o d e ls [ J」. oC ? u `-e sr i n nI dus?? , 19 95 , 2 6 : 16 1? 17 3 .[ 1 5」 Je n s e n C G , A n d e r s o n D C . A r e v ie w o f n u m e ir e a lly e o n -t or l le d m e th o d s fo r if n is h? s e u lp t u er d? s ufare e nr a e h in in g?J」. ?? arT , “ a e t io sn , 1996 , 28 : 30? 9 .[ 1 6 〕 A u s t in S P , Je ar dr R B , D? s d a l e R L . C o m aP ir s o n Of d i s -e? t i z a t ion d ? ir thm s for N U RB S s u far e? w it h aP p li e a t io nr o n u m e ir e a ll yeon tr oled m ac ?Lin in g 「J〕 . Co?u t e r? i?dD es Zg ? , 1 9 9 7 , 2 9 ( 1 ):7 1?8 3.

Ultra-precision machining of optical microstructures

Abstract

Similar works

Full text

Available Versions

PolyU Institutional Repository