'Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics'
Doi
Abstract
Разработана модель пропускания в оптическом диапазоне длин волн многослойными
покрытиями, состоящими из чередующихся слоев меди и диоксида циркония, нанесенными на подложки
из стекла марки К8. В основу модели положены законы интерференции света. Показано, что пропускание
в оптическом диапазоне слоя Cu толщиной 60 нм при поверхностном сопротивлении ρ = 10 Ом/кв составляет
4–5 %, а пропускание покрытия ZrO2/Cu/ZrO2/Cu/К8, полученного разделением слоя меди толщиной 60 нм на
два подслоя по 30 нм с нанесением на них просветляющих слоев ZrO2, при ρ = 1,2 Ом/кв достигает 25 %.
Рассчитаны толщины и количество слоев системы Cu-ZrO2, обеспечивающих пропускание в диапазоне длин
волн 400–700 нм не менее 45 %. Определена допустимая толщина слоев Cu (≥ 20 нм), ниже которой,
вследствие их островковой структуры и частичного окисления с образованием Cu2O, резко снижается
электропроводность многослойного покрытия (ρ ≥ 100 Ом/кв).The transmission model for optical diapason was developed for multilayer coatings consisting
of alternating layers of copper and zirconium dioxide deposited on K8 glass substrates. The model is based on the laws of light interference. It was shown that the transmission in the optical range of a 60 nm thick
Cu layer with a surface resistance ρ = 1 Ohm/sq is 4–5 %, and the transmission of the ZrO2/Cu/ZrO2/Cu/К8
coating obtained by dividing a 60 nm thick copper layer into two sublayers at 30 nm with the application
of antireflection layers of ZrO2 on them, at ρ = 1.2 Ohm/sq it reaches 25 %. The thicknesses and the number
of layers of the Cu-ZrO2 system were calculated, which ensure a transmission in the wavelength range
of 400–700 nm of at least 45 %. The permissible thickness of Cu layers (≥ 20 nm) was determined, below
which, due to their insular structure and partial oxidation with the formation of Cu2O, the electrical conductivity
of the multilayer coating sharply decreases (ρ ≥ 100 Ohm/sq)
