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GUI (Graphical User Interface) platformization realization method orienting to IC (Integrated Circuit) equipment control software
Authors
于海斌
于海斌
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刘明哲
刘明哲
张吉龙
张吉龙
徐皑冬
徐皑冬
李正
李正
王锴
王锴
金妮
金妮
Publication date
16 May 2012
Publisher
Abstract
本发明涉及一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法,包括以下步骤:根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面;利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接,形成通讯网络;IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据,并将数据映射到GUI平台的通用数据层;GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理,实现IC装备控制软件的GUI平台化。本发明实现了跨平台机制,提高了晶圆制造设备的集群监控能力,可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置,使整个生产过程能在短时间内快速组态,保证生产提前启动的需要
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