光学二维扫描测试装置

Abstract

本实用新型公开一种光学二维扫描测试装置。它由扫描镜、两块凹面全反镜、样品池、探头、信号线和马达组成，其中与马达连接的扫描镜安装在第一凹面全反镜的焦点位置上，所述探头安装在第二凹面全反镜的焦点位置上，所述探头的输出信号通过信号线连接到示波器上，所述两块凹面全反镜安装在样品池两侧，所述扫描镜为柱面扫描镜，其面数ｎ在３≤ｎ≤４０范围内。本实用新型避免了国内外通用的两块镜子严格装配、精细控制交替运动的二维扫描转镜，具有轻型实用、结构简单、扫描速率可调之特点。带填