一种毛细管刻蚀导通的方法

Abstract

本发明涉及一种毛细管刻蚀导通的方法，此方法包括两个步骤：用工具对石英毛细管很小的区域进行处理，使毛细管此区域的聚酰亚胺层去掉，壁厚明显减小；将毛细管的处理部分浸没在氢氟酸中进行刻蚀，直至导通。本发明的优点为与传统的刻蚀方法相比，此方法刻蚀导通的毛细管刚性强，不易断裂；此刻蚀方法成功率高；刻蚀导通时间变短；刻蚀过程操作简单方便。带填