在衬底上生长异变缓冲层的方法

Abstract

 一种在衬底上生长异变缓冲层的方法,包括如下步骤：步骤1：取一衬底；步骤2：在衬底上生长缓冲层；步骤3：在缓冲层上生长异变缓冲层；步骤4：在异变缓冲层生长外延层,形成基片；步骤5：对基片进行降温处理,完成在衬底上生长异变缓冲层的制备