硅基延时可调光延迟线及其制作方法

Abstract

 一种硅基延时可调光延迟线,包括：一输入波导及一直通端,该输入波导及直通端之间通过一第一弯曲波导连接；一上载端及一下载端,该上载端及下载端之间通过一第二弯曲波导连接；一光学谐振腔,该光学谐振腔位于输入波导、直通端、上载端和下载端之间,并与输入波导、直通端、上载端和下载端形成耦合；两调谐电极,该两调谐电极分别位于第一弯曲波导与光学谐振腔的耦合处的两侧或该两调谐电极分别位于第二弯曲波导与光学谐振腔的耦合处的两侧