磁性多层膜中SiO_2/Ta界面反应及其对缓冲层的影响

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Publication date
1 January 2002
Publisher

Abstract

磁性多层膜常以金属Ta作为缓冲层。利用磁控溅射方法在表面有300nm厚SiO_2氧化膜的单晶硅(100)基片上沉积了Ta/NiFe/Ta薄膜。采用X射线光电子能谱（XPS）对该薄膜进行了深度剖析，并且对获得的Ta 4f和Si 2p的高分辨XPS谱进行计算机谱图拟合分析。结果表明在SiO_2/Ta界面处发生了化学反

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