原子氢辅助分子束外延生长台阶状表面形貌的研究

Abstract

研究了分子束外延中引入原子氢后，原子氢对外延层表面形貌特征形成的诱导作用，原子力显微镜（AFM），测试表明，在（311）AGaAs表面，原子氢导致了台阶状形貌的形成，在这种台阶状表面进一步生长了InAs量子点，测试结果表明其位置分布的有序化受到台阶高度和台阶周期的制约，这为实现量子点结构的有序化控制生长提供了一定的实验参考