低能氦离子注入引入的量子阱混杂带隙波长蓝移

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Publication date
1 January 2007
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Abstract

提出了采用低能氦离子注入多量子阱（MQW）材料和合适的快速退火条件，实现了MQW带隙波长的蓝移．用这种材料制作了FP腔激光器，与未注入器件相比，实现了37nm的激射波长蓝移

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