聚焦离子束研制半导体材料光子晶体

Abstract

介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体，给出了相关微加工结果。发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合；测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱．实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件