16信道0.35μmCMOS/VCSEL光发射模块

Abstract

研究了垂直腔面发射激光器(VCSEL)及其列阵器件的光谱特性、调制特性、高频特性及与微电子电路的兼容性,将1×16的VCSEL与CMOS专用集成电路进行多芯片组装(MCM),混合集成为16信道VCSEL光发射功能模块。测试过程中,功能模块的光电特性及其均匀性良好,测量的-3dB频带芝宽度大于2GHz

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