InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟

Abstract

InP基微光机电系统（MOEMS）可调谐器件的梁在实验中常出现弯曲变形的现象，其原因是在生长的时候，As原子进入InP梁，产生了内部梯度应力．使用有限元分析软件，建立了一种无须测量内部应力的模拟梁变形的方法．模拟了单臂梁和双臂梁的弯曲变形情况，理论与实验吻合．研究了As原子浓度和梁厚度对梁变形情况的影响，结果表明降低As原子浓度和增大梁厚度都有助于抑制梁的变形