离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响

Abstract

利用质量分离的低能离子束沉积技术，得到了非晶碳膜。所用离子能量为50-200eV，衬底温度从室温到800℃。在沉积的能量范围内，衬底为室温时薄膜为类金刚石，表面非常光滑；而600℃下薄膜主要是石墨成分，表面粗糙。沉积能量大于140eV，800℃时薄膜表面分立着高度取向的、垂直衬底表面、相互平行的开口碳管。用高分辨电子显微镜看到了石墨平面的垂直择优取向，离子的浅注入和应用是这种优先取向的主要机理