制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法

Abstract

本发明一种制备平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤:步骤1:利用双亲嵌段共聚物PS-P4VP在甲苯中自组装成反胶束，然后将金属盐FeCl3和H2PtCl6加入所述反胶束溶液中，形成金属盐负载的反胶束;步骤2:利用旋涂法在硅衬底上获得反胶束阵列，并通过氧等离子体和氢等离子体刻蚀而得到单分散性良好的FePt纳米颗粒阵列;步骤3:用磁控溅射法在FePt纳米颗粒阵列上覆盖一层SiO2保护层;步骤4:保护气氛下对样品进行高温退火，完成平行取向FePt磁性纳米复合薄膜的制作