偏振差分反射光谱研究半导体材料的平面内光学各向异性

Abstract

介绍了偏振差分反射光谱的原理，并结合半导体材料平面内光学各向异性的来源，总结了偏振差分反射光谱作为一种重要的表面、界面分析技术在半导体材料研究中的应用，并分析指出其在Si基材料电光改性研究中将会起到重要作用