Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis
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Abstract
Sensorsysteme auf Siliziumbasis befinden sich in einem unterschiedlichen Entwicklungsstadium. Mikrosysteme, die rein auf mikroelektronischen Komponenten basieren, werden schon jetzt industriell eingesetzt. Systeme mit Sensor- oder Aktorkomponenten, hybrid oder monolithisch integriert, stehen unmittelbar vor der Produkteinführung. Dieser Beitrag möchte an verschiedenen Beispielen Sensorsysteme für unterschiedliche Anwendungen vorstellen