Das Ziel dieser Arbeit war die Entwicklung eines neuen Abbildungs- und
Analyseverfahrens für den Einsatz im Rasterelektronenmikroskop. Es basiert auf
der Bandpaßenergiefilterung der Rückstreuelektronen mit Hilfe eines
energiedispersiven toroidalen Sektorfeld-Spektrometers. Dieses ermöglichte neben
der Aufnahme von Rückstreuelektronenspektren, die Abbildung mit Hilfe von
Rückstreuelektronen, die bezüglich ihrer Energie bandpaßgefiltert sind. Dadurch
wurde eine tiefenselektive Abbildung eines Objektes im SEM möglich, die
zerstörungsfrei ist und eine laterale Auflösung in der Größenordnung von
konventionellen BSE-Abbildungen liefert. Die theoretische Grundlage ist die
elastische Streuung und der kontinuierliche Energieverlust der
Rückstreuelektronen auf ihrem Weg durch das Objekt. Durch die Untersuchung der
Winkel-, Energie- und Austrittstiefenverteilungen der Rückstreuelektronen mit
Hilfe von Monte-Carlo Simulationen konnte gezeigt werden, daß durch das Setzen
entsprechender Energiefenster in das Spektrum der BSE selektiv einzelne Tiefen
von Mehrfachschichtobjekten abgebildet werden können
