Viene descritto un processo per realizzare un rivestimento di carburo di silicio su superleghe mediante: trattamento nitrurante della superlega oppure nitrurazione per sputtering reattivo sulla superlega di un film di nitruro di titanio; deposizione chimica in fase vapore di un film sottile di nitruro di titanio; ricottura in atmosfera di azoto-idrogeno; deposizione chimica in fase vapore di uno strato di carburo di silicio