Etude de Comportement Dynamique des Micropoutres MEMS : Simulation par FEM Sous COMSOL et ANSYS Multiphysiques

Authors
Publication date
1 January 2013
Publisher
HAL CCSD

Abstract

National audienceEtude de Comportement Dynamique des Micropoutres MEMS : Simulation par FEM Sous COMSOL et ANSYS Multiphysique

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