В роботі проведений аналіз стану та розвитку мікроелектромеханічних систем (МЕМС), розглянуті технологічні процеси їх виготовлення та програмне забезпечення комп’ютерного моделювання МЕМС. Розглянуто існуючі мікропристрої, прилади та системи вимірювання параметрів руху, зокрема, прискорення, а також прилади орієнтації та навігації.In this paper the analysis of a condition and development of microelectromechanical systems (MEMS) is lead, technological processes of their manufacturing and the software of computer modulation MEMS are considered. Existing micro devices and systems of measurement of parameters of movement, in particular, acceleration, and also devices of orientation and navigation are considered.В работе проведен анализ состояния и развития микроэлектромеханических систем (МЕМС), рассмотрены технологические процессы их изготовления и программное обеспечение компьютерного модулирования МЕМС. Рассмотрены существующие микроустройства, приборы и системы измерения параметров движения, в частности, ускорения, а также приборы ориентации и навигации
