Sensor electroquímico integrado de estado sólido (S)
que comprende un primer electrodo (1) en contacto
con un primer volumen libre (V1), un segundo
electrodo (2) con un segundo volumen libre (V2), un
electrolito sólido (3), una estructura de soporte del
electrolito, estando los electrodos (1, 2) en contacto
con el electrolito (3), un amperímetro o un voltímetro
conectado entre los electrodos (1, 2), en el que el
primer (V1) y/o el segundo (V2) volumen es
susceptible de contener un gas cuya concentración se
quiere medir, en el que el electrolito (3) es una
membrana de zirconia estabilizada con itria, la
estructura (4) es de silicio micromecanizado provista
de al menos un orificio atravesante y la membrana (3)
está fijada a la estructura de modo que cubre el
orificio.Peer reviewedInstitut de Recerca en Energía de Catalunya, Consejo Superior de Investigaciones Científicas, Universitat de BarcelonaA1 Solicitud de adición a la patent
