Técnicas de medida para pequeños desplazamientos

Abstract

La caracterización de dispositivos que tienen como principio físico la modificación de su estructura geométrica, tal como la deflexión de las membranas de Si, exige que sus deformaciones sean establecidas de una manera fiable y precisa. En este sentido, se hace un análisis de algunas técnicas de caracterización de sensores en uso actualmente. Las técnicas ópticas son las más analizadas, especialmente la técnica interferométrica, utilizada para caracterizar membranas neumáticas de Si construidas en el Centro Nacional de Microelectrónica, de la Universidad Autónoma de Barcelona, y caracterizadas en el Departamento de Electrónica de la Universidad de Barcelona, Barcelona, España