随着光学技术的发展，各种精密光学元件被广泛地应用于工农业生产，国防军事建设，航空航天科技等。为保证元件的加工精度，检测技术已成为先进光学元件制造的关键。合理的检测方法对评价元件表面特性以及指导元件的精密加工有着很大的帮助。 本文根据精密磨削加工的要求，从宏观角度对光学元件的表面形状进行检测；从微观角度对元件的表面粗糙度、微形貌等表面质量进行检测；以及对元件的亚表面损伤进行检测，从而为加工提供指导思想，实现高精度、高效率、低缺陷的磨削加工。本文具体研究内容如下： 1.设计了一套光学元件面形精度的在位检测系统，包括硬件系统的搭建和软件系统的开发，并对检测轨迹进行了规划，分析了不同检测路径的优缺...With the development of optical design and manufacturing technology, more and more optical components have been widely used in industrial and agricultural production, national defense, space navigation and so on. Because of the requirement of the accuracy, the measuring technology has become a key point of the manufacture of optical components. The reasonable measuring method is paling an importan...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_机械电子工程学号：1992007115113
