MEMS制作的微米针管基本结构与传统注射用针管一致，但是其最大特点是有三：首先是针管尺寸大大缩小，传统针管长度约20mm，外口径约有0.5mm，而微米针管长度最大只有7mm，针管外口径只有0.1mm左右，大大减小了穿刺皮肤组织所带来的痛感；其次，传统针管多为钢制，而微针管多数采用MEMS技术，其基本材料为硅，由于硅物理化学性质稳定，不被人体组织排斥，具有极大的安全性；最后，MEMS技术是基于成熟的半导体工艺发展而来，可以在硅片上实现大规模生产。常见的微针管主要分为面内构造和面外构造两种。面内构造是指针体纵向与硅片表面平行的制造方式，多数采用深刻蚀等硅表面加工技术；而面外构造则是与硅片表面垂直，...The silicon microneedles fabricated by MEMS technologies keep same basic structure with conventional injection needles. But it has three characteristics. First, the size of needles shrinks greatly. The conventional needles’length is about 20 mm, and outdiameter is about 0.5 mm. Otherwise microneedles’s length is about 7 mm at the most, and outdiameter is less than 0.1 mm, which reduced the pain br...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院物理学系_微电子学与固体电子学学号：20022403
