摘要微型应变传感器由于体积小、稳定性好等特点被广泛应用于各个领域的应力或应变测量。自八十年代以来，随着MEMS技术的发展，国外对微型应变传感器的研究异常活跃。传统的压阻式微应变传感器受温度影响较大，不适合较高温度下的测量。谐振式微应变传感器则存在频率漂移、时间稳定性差、能源消耗、计算复杂等问题。而由MEMS（MicroElectro-MechanicalSystem）技术开发的半导体电容式应变传感器具有微型化、集成化、智能化，以及其高选择性、高可靠性、高稳定性的特点，克服了其它类型传感器的缺点。本文针对微型电容式应变传感器的研究工作如下：1．以各种结构的传感器为背景，分析不同结构传感器的优缺点...AbstractMicro strain sensor is one of the principal embranchments of the micro sensor. Due to its small volume 、good stability etc， micro strain sensor is extensively applied in the measurement of residual stress and strain. From the 80's as the development of MEMS， the studies for micro strain sensor abroad has been very active. The traditional piezoresistive strain sensors were influenced gr...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_测试计量技术及仪器学号：20022902
