传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志，它与通信技术、计算机技术构成现代信息产业的三大支柱。硅压力传感器主要包括压阻式、电容式、谐振式以及压电式等形式。目前，硅压阻式压力传感器是应用最广泛的传感器之一，它具有接口电路简单、加工工艺成熟、成本低等优点。 由于我国的工业特别是汽车工业的飞速发展，基于汽车电子的压力传感器市场使得对具有自主知识产权的高可靠性的压力传感器的需求与日俱增。由于应用环境的恶劣，基于汽车电子的压力传感器（比如，发动机油压传感器、喷油压力传感器、以及汽车胎压传感器等）的表面经常受到油污、粉尘以及带电颗粒等的沾污，甚至是静电等对于压力传感器也会造成很大的影响，使得压力传感器...Sensor technology together with communication technology and computer technology form the mainstay of information industry. Piezoresistive pressure sensor is one of the sensors which are applied widely. The technology for producing the Piezoresistive pressure sensor is relatively maturely because of simple interface circuit and IC-compatible process. With the hyper-growth of the auto industry in...学位：理学硕士院系专业：物理与机电工程学院物理学系_凝聚态物理学号：1982007115228
