接触式电容压力传感器（TMCPS）与其它类型压敏器件相比有着明显的优点，例如较好的线性，高的灵敏度和大的过载保护能力等。它在工业生产、医疗卫生、军事及科学研究等众多领域有着广泛的应用。目前国内对基于微机电系统（MEMS）的电容压力传感器的研究还很不成熟，过分依赖进口的情况制约了科学技术的发展。因此，开发出一种实用的基于MEMS技术的具有高灵敏度和高度线性的压力传感器已经成为传感器研究中亟待解决的问题。为了达到更好的性能，本文设计了双凹槽接触式电容压力传感器（DTMCPS），这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽。文中应用小变形理论和有限元法分别对膜片的变形进行了分析。分析...Touch mode capacitive pressure sensor (TMCPS) has distinct advantages, suchas good linearity, high sensitivity and strong overload protection, over other pressure sensor. It is widely used in many fields, such as industry, medical treatment, military application and scientific research. The study in capacitance pressure sensor, which is based on Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS), is comparat...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_机械制造及其自动化学号：2005130168
