在微电子、微机电系统(MEMS)的制作领域,微米结构或图案的产生是一项极为关键的技术。高精度微米结构的喷印技术可实现功能材料、高分子、生物样品等精细图形喷印,具有广阔的市场前景。虽然改装市场主流的打印机在喷印功能陶瓷、电子元器件、生物组织工程等特殊领域的应用取得了很好的结果,但是,传统的喷墨打印机自身的缺陷和对墨水的严格要求限制了它们在特殊领域的发展空间。为克服现有打印方式存在的缺陷,本文研究并搭建了基于电液动力学原理的喷墨打印系统,考察了喷印参数的变化对喷印液滴的影响,具体工作包括以下几部分: (1)在查阅和分析大量相关文献资料的基础上,研究了一种基于电液动力学原理的按需喷墨打印技术,自主...The manufacturing technique of micro structure or pattern is extremely important in the micro electromechanical system (MEMS) fabrication technique. The high precision in the MEMS fabrication, the printing technique can be used in the functional material printing, macromolecule printing, bio-sample printing, package glue printing. Especially, the printing technique will have a big requirement in t...学位:工学硕士院系专业:物理与机电工程学院机电工程系_机械电子工程学号:1992006115184