多晶的或无定形的透明导电氧化物(Transparentconductingoxides，简称TCOs)，由于其独特的光学和电学性能，成为近年来研究的热点。其中，铝掺杂氧化锌（Al-dopedZnO,简称AZO）因具有低电阻率和高可见光区透过率，成为主要的透明导电氧化物材料之一，加上其原材料丰富，价格低廉且无污染，在光电器件领域有望替代ITO成为最理想的透明导电材料。本文采用射频磁控溅射技术首次在室温下，以ZnO:Al2O3(98：2wt%)为靶材，在石英玻璃衬底上制备多晶AZO透明导电薄膜。同时应用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、扫面电子显微镜（SEM）、俄歇电子能谱仪（AES...Recently, a great deal of interest has been fueled in the development of polycrystalline or amorphous transparent conducting oxide (TCO) semiconductors used for practical thin-film transparent electrode applications, due to their excellent electrical and optical properties. Aluminum-doped zinc oxide (AZO) thin films, which are the most important TCO, with low resistivity and high transparency in v...学位：理学博士院系专业：物理与机电工程学院物理学系_凝聚态物理学号：1812005140302
