无线传感网络技术的发展要求更持久的供能，传统的电池体积大，寿命短，逐渐无法满足技术进步的需要。MEMS能量采集技术可以将环境中的振动能源采集转换为电能，其寿命长，无须更换，实现电子器件的自供能，是较为有前景的一种替代传统电池的技术。 根据线性质量弹簧阻尼系统理论，本文深入分析了两种主要的振动能量采集方式：压电式能量采集及可变电容式能量采集的特点，分别建立了其数学模型，并在此基础上设计了一种兼具有压电式和可变电容式原理的复合式振动能量采集器。 本文讨论了决定振动能量采集器性能的若干关键结构尺寸，同时分析了结构的机械品质因素。对器件的振动部分结构进行了参数化的设计及有限元分析，获得了器件结构参...The development of wireless sensor networks require more stable energy supply, which goes beyond the limit of traditional batteries. MEMS-based energy-harvesting technology can convert the environmental vibration energy and transform to electricity, with long life-span and no need to replace frequently. As it realizes self-power and it is a promising solution for the energy supply of MEMS-based se...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_机械制造及其自动化学号：1992006115183
