工艺简单、用途广泛、能批量加工复杂三维微/纳结构的加工技术一直是微/纳加工领域的研究热点。近来，利用电化学手段进行三维微/纳米尺度的刻蚀加工已成为该领域中一个发展迅速的研究方向。电化学方法具有控制灵活、工作条件温和、低成本等优点，在加工复杂三维微/纳结构上具有很好的潜力。本论文完善和发展了适用于复杂三维微/纳加工的电化学加工技术，对金属和半导体的微/纳加工进行了深入的研究，并将电化学加工技术初步应用于微光学元件阵列和生物芯片（细胞阵列）的制备等方面。本论文共分为七个章节。前言介绍了现有的各种微细加工技术的主要特点，同时在应用方面主要介绍了微细加工技术用于微光学阵列元件以及细胞微阵列的制备。作者...The development of the micro-electro-mechanical systems (MEMS), micro-optics, micro-chips helps the advancement of micromachining technology that is the hotspot of the recent research and the core of MEMS. The requirements for new approaches of micro/nanomachining include the ability to fabricate complex 3D microstructures, high output and batch process. Recently, the electrochemical machining met...学位：理学博士院系专业：化学化工学院化学系_物理化学(含化学物理)学号：B20032502
