微流控芯片是一个多学科高度交叉的领域，由于其单元尺寸在亚毫米到微米之间，在这个尺度范围内的物理化学规律发生显著变化，所以物理化学方法和工具的应用对微流控系统的研究有极其重要的作用。本论文是运用物理化学方法和工具开展微流控芯片的制作及检测方法方面的研究。主要研究内容及获得的结果如下：1、建立了湿法腐蚀（100）单晶硅制作微流控芯片硅基模具的方法。用15%四甲基氢氧化铵溶液各向异性腐蚀硅（100）制作得到模具，然后经过浇模、中真空键合得到PDMS微流控芯片。整个过程耗时约10小时。用SEM和激光共焦显微成像系统进行观察监测。分析了硅模具及PDMS微流控芯片图案的一致性及粗糙度，结果表明硅片模具微结...Microfluidic chip is an interdisciplinary field. The rule of physicochemical phenomena in microfluidic chip is quite different with that of macro-world, when its unit scale is from sub-millimeter to micrometer. Therefore it is very important for microfluidic chip to apply the physicochemical methods and tools. The purpose of this thesis is to develop new fabrication and detection method for microf...学位：理学硕士院系专业：化学化工学院化学系_物理化学(含化学物理)学号：20022508
