微/纳米科学技术作为二十一世纪的关键高新技术之一，将导致人类认识和改造世界能力的重大突破。而具有强烈交叉学科色彩的微系统（或微机电系统，MEMS）可能迅速崛起和蓬勃发展，成为微/纳米科技中的核心之一。为充分发挥微系统的功能和用途，需要制备较为复杂和高性能的微结构，因此必须发展和建立新型的加工技术。适宜于微系统的新型的加工技术应能满足如下三方面的要求：（1）能够加工复制出真正的超微复杂三维微加工图形或器件；（2）可批量生产；（3）达到微/纳米尺寸。 早在1992年，田昭武院士等就提出了约束刻蚀剂层技术（ConfinedEtchantLayerTechnique,简称CELT），是一种具有距离敏...Micro- and Nanometer science and technology, which will lead to a great breakthrough in understanding and transforming the world is considered to be a key Hi-tech in 21st century. The microsystem or microelectromechanical systems (MEMS), as an interdisciplinary field, will be a core of micro- and nanometer science and technology. In order to exert the potential of MEMS, a new micromachining method...学位：理学硕士院系专业：化学化工学院化学系_物理化学(含化学物理)学号：19982502
