气浮沉积是一种新型的非接触和无掩膜的喷印工艺，可以喷印小于50μm的精细结构，最小喷印线宽达10μm。该工艺可以喷印多种类型的墨水，包括金属、半导体、绝缘体、磁体、聚合物等，墨水的粘度最高可达2500cp。气浮沉积工艺已经在很多领域获得了应用，例如：集成电路、打印传感器、太阳能电池、电气互连等。柔性印制电路作为电子互连的基础材料，是电子产品的最重要的部件之一。目前传统减成法制造柔性电路工艺复杂、材料利用率低、环境污染严重、制造成本高，而且受腐铜侧蚀等因素影响，很难制造出线宽小于100μm的柔性电路。 针对传统工艺在制造更小线宽柔性电路上的限制，以及高污染、低利用率、高成本等问题，本文使用气浮...Aerosol Deposition is an innovative non-contact and maskless printing process for fine structures below 50 洀, and the minimum line width can reach 10 洀. This process has ability to print with a wide variety of nano materials, including metal, semiconductor, insulator, magnet, polymer and so on. The viscosity of the ink used for printing up to 2500cp. And the aerosol deposition process has been app...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院_测试计量技术及仪器学号：1992010115270
