TiO2具有光致亲水性能，即在紫外光照下，水滴与TiO2薄膜的接触角很快变为零。这一特性使TiO2具有自洁去污、防水雾等功能，具有广阔的应用前景，因而受到广泛关注。如何改善TiO2薄膜的亲水性能，使其具有可见光活性，并使亲水性保持较长的时间，成为近年来的研究热点。本研究的目的在于探索采用磁控溅射法制备N掺杂TiO2薄膜（N-TiO2）和Al、N双掺杂TiO2薄膜（Al/N-TiO2），改善TiO2的亲水性能。主要工作包括：（1）用TiN陶瓷靶，以O2、Ar为工作气体，采用射频反应磁控溅射法制备N-TiO2薄膜。用XRD、SEM、XPS、UV-Vis、CA（contactangle接触角）等分析...TiO2 involves a unique aspect of photo-induced hydrophilicity with a water contact angle of 0º. This phenomenon has been applied to various items, such as self-cleaning tites and anti-fogging mirror. Recent investigations have focussed on the improvement of hydrophilic property of TiO2 under visible light. The aim of this investigation is to explore N-TiO2 and Al/N-TiO2 films with excellent h...学位：工学硕士院系专业：化学化工学院材料科学与工程系_材料物理与化学学号：20043601
