微型核电池由于具有能量密度大、寿命长、受环境影响小、与MEMS工艺兼容等优点，成为了为MEMS和微/纳器件供电的重要能源。Si基微型核电池由于受到Si材料禁带宽度的限制，输出电压和转换效率仍较低。GaN是一种宽禁带半导体材料，基于GaN的微型核电池有更大的开路电压和更高的转换效率。本文对采用Ni-63为放射源的微型核电池进行了理论和实验研究。 首先，使用MonteCarlo方法，对β放射源辐射出的电子入射到半导体材料进行理论分析。以Curgenven和Duncumb等人的研究成果为基础，结合卢瑟福散射模型，可以准确计算出入射电子在半导体材料中的运动轨迹。在这些计算的基础上，软件仿真出电子运动...Betavoltaic Microbattery is an important power supply for MEMS and micro/nano devices due to its advantages in high energy density, durability, free from environmental factors, easy to be miniaturized and integrated. The open-circuit voltage and conversion efficiency of Si-based batteries are low because of the narrow band gap of Si. GaN (gallium nitride) betavoltaic microbattery has a higher open...学位：工程硕士院系专业：物理与机电工程学院_电子与通信工程学号：1982010115279
