随着MEMS技术的应用发展，微能源技术越来越受到人们的关注。全固态微型薄膜锂离子电池，有着体积小，安全性高，能量密度高，开路电压高，循环性能好，制备兼容性高等优势，成为目前微电源中的最佳选择。 正负电极和电解质都大大影响了整个电池的性能。本论文系统地探讨了全固态微型锂离子电池的活性材料薄膜的制备，并将实验结果集成到全固态微型锂离子电池的微加工技术中。 首先探讨了磁控溅射方法制备SnOx薄膜时金属铜的掺杂。随着铜掺杂量的增加，SnOx薄膜的充放电容量和循环性能有了很大的改善，但是由于铜的参与导致首圈不可逆损失增大，保证适当的铜掺杂量可以得到性能良好的负极SnOx薄膜。通过XRD和SEM发现，...With the development of MEMS technology, micro energy technology attracts more and more attention. Because micro-scaled all-solid-state thin-film lithium-ion batteries have a small volume, high security, high energy density, high open circuit voltage, good cycle performance, high preparation compatibility , they have became the best choice for micro power sources. Positive and negative electrodes...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院_测试计量技术及仪器学号：1992010115269
