MEMS硅基红外光源是光学传感系统中的核心部件，尤其在NDIR和FDIR等气体传感系统中。与传统的红外光源相比，MEMS红外光源具有体积小、低能耗、调制频率高、低成本和可批量化生产的特点，使它成为近年来研究的重点。 本文在实验室已研发的硅基红外光源基础上进行优化和改良。论文的主要内容包括以下三个部分：首先设计并加工MEMS红外光源，在设计方面，提出了两种基于SOI片和Si片的MEMS红外光源结构以及设计了五种不同尺寸的多晶硅发光薄膜。在加工方面，通过浓硼掺杂实现辐射光背向吸收自加热效应以及形成Si湿法腐蚀自停止层。通过LPCVD、离子注入、湿法腐蚀工艺技术制备不同尺寸的低阻多晶硅薄膜。SOI...Silicon micromachined infrared emitter is a key component in the optical sensing systems especially for the Non-Dispersive Infrared (NDIR) and Fourier-Transformed Infrared (FIRD) or different kinds of gas sensor system. Compared with other infrared emitters employed, the Silicon micromachined infrared emitter has its merits of small in size, low energy consumption, fast modulation frequency, low f...学位：理学硕士院系专业：物理与机电工程学院_光学学号：1982010115280
