在现代激光技术的应用发展中，激光核聚变装置、高能激光、红外热成像、 卫星等精密光学系统对先进光学元件都有极大的需求，且对光学元件表面质量的 要求也越来越高。大量研究表明光学元件表面质量会对整个光学系统造成巨大的 影响。高质量的光学元件不仅需要先进的制造技术，更需要合理的检测手段保证 表面误差在一定的范围内，使其满足性能要求，这是尤为重要的。 由于光学表面传统评价方法存在诸多不足，文章基于光学表面的分形结构， 提出将分形理论运用于表面误差评价，并建立抛光工艺参数与分形维数的响应模 型。本文针对光学表面误差评价方法，加工参数、分形维数二者响应曲面模型关 系进行研究,主要研究内容包括...In the application of laser technology about the development of modern, precision optical systems have a great demand for advanced optical components, such as laser fusion devices, high-energy laser, infrared thermal imaging, satellites and so on, and surface quality of the optical elements are increasingly high requirements. Numerous studies show that the surface quality of the optical elemen...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院_机械电子工程学号：1992011115273
