Methoden und Werkzeuge fuer den Mikrosystementwurf (METEOR). Teilprojekt 4: Mikrostrukturierungsverfahren Schlussbericht

Authors
Publication date
1 January 1997
Publisher

Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: DtF QN1(58,40) / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie, Bonn (Germany)DEGerman

    Similar works

    Full text

    thumbnail-image

    Available Versions

    OpenGrey Repository

    redirect
    Last time updated on 14/06/2016