Mikromechanische Dosiereinrichtung und Steuerelektronik Schlussbericht

Abstract

This project was dedicated to the development of a dosing device which combines micromechanical silicon-wafer actuators and sensors and modern design and joining techniques with microelectronic circuits in a microsystem. The developed microsystem doses smallest quantities of liquids and is suited for a wide range of uses, e.g. medical engineering, chemical analyses, vacuum technology, writing, drawing and printing techniques, or mechanical engineering. (orig./RHM)Aufgabe des dokumentierten Vorhabens war die Entwicklung einer Dosiereinrichtung, die mikromechanische Aktoren und Sensoren auf der Basis der Silicium-Wafer-Technik unter Einbezug moderner Aufbau- und Verbindungstechniken mit mikroelektronischen Schaltungen in einem Mikrosystem vereinigt. Dieses Mikrosystem ist fuer die Dosierung kleinster Fluessigkeitsmengen und damit fuer Anwendungsgebiete, die sich von der Medizintechnik ueber die chemische Analytik, die Vakuumtechnik oder die Schreib-, Zeichen- und Drucktechnik bis zum Maschinenbau erstrecken, vorgesehen. (orig./RHM)SIGLEAvailable from TIB Hannover: F94B0329+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman