Innovative Reaktoren und in situ Analytik fuer Nano-Schutzschichten. Teilvorhaben: Hohlkathoden-Plasmaquelle fuer Nano-Schutzschichten  Abschlussbericht

Enders, P.; Fraunhofer-Institut fuer Schicht- und Oberflaechentechnik, Braunschweig (Germany); Hoefer, M.; Jung, T.; Mahrholz, J.

Innovative Reaktoren und in situ Analytik fuer Nano-Schutzschichten. Teilvorhaben: Hohlkathoden-Plasmaquelle fuer Nano-Schutzschichten Abschlussbericht

Authors: P. Enders
Braunschweig (Germany) Fraunhofer-Institut fuer Schicht- und Oberflaechentechnik
M. Hoefer
T. Jung
J. Mahrholz
Publication date: 1 January 2003
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Abstract

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