Laserinduzierte Fertigungsverfahren - Abtragen mit Laserphotonen, Praezisionsbearbeitung von Glas und duennen Schichten mit Laserstrahlung. Teilvorhaben: Ersatz teurer kristalliner Substrate durch laserstrukturierte kostenguenstige Glaeser Abschlussbericht
- Publication date
- 1 January 2000
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