Laserinduzierte Abscheidung von amorphen Silizium- und Chromfilmen sowie Ablation von Polyimid

Authors
Publication date
1 January 1993
Publisher

Abstract

Available from TIB Hannover: F93B306+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekSIGLEBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman

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