Diagnostik von Plasmen fuer die Plasmapolymerisation. Sondendiagnostik in polymerisierenden Plasmen Ergebnisse

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Publication date
1 January 1993
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Abstract

SIGLEAvailable from TIB Hannover: F95B521+a / FIZ - Fachinformationszzentrum Karlsruhe / TIB - Technische InformationsbibliothekBundesministerium fuer Forschung und Technologie (BMFT), Bonn (Germany)DEGerman

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